奥林巴斯 OlympusOLYMPUS

激光共焦显微镜

OLS5000激光共焦显微镜可精确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集​​比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍,从而大大提高了生产效率。

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详细说明

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主机

型号 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
总倍率 54x - 17,280x
视场直径 16um - 5,120um
帧率(激光观察 )[fps] 3.25 / 55.6
帧率 (彩色观察) [FPS] 30
测量原理 光学系统 反射式共焦激光扫描激光显微镜 
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
彩色
彩色-DIC
光接收元件 激光:光电倍增管(2ch)彩色:CMOS彩色相机
高度测量 显示分辨率 0.5纳米
光栅尺 0.78纳米
动态范围 16位
可重复性σ *1 *2 *5 n-1 5X:0.45μm, 10X:0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm  
正确性 *1 *3 *5 0.15+L/100微米(L:测量值[毫米])
拼接图像正确性 *1 *3 *5 10X:5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm (L: 测量长度[μm])
测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5 1纳米
宽度测量 显示分辨率 1纳米
可重复性 3σn-1 *1 *2 *5 5X:0.4μm, 10X:0.2μm, 20X:0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm
精度 *1 *3 *5 测量值+/- 1.5%
拼接图像精度 *1 *3 *5 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm])
单次测量时测量点的最大数量 4096 x 4096像素
测量点的最大数量 3600万像素
XY载物台配置 长度测量模块 不适用 不适用 不适用
工作范围 100×100毫米电动 100×100毫米手动 300 X300毫米电动 100×100毫米电动 100×100毫米手动
最大样品高度 100毫米 40毫米 37毫米 210 毫米 150毫米
激光光源 波长 405纳米
最大输出 0.95毫瓦
激光分类 2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光LED
电气功率 240瓦 240瓦 278瓦 240瓦 240瓦
质量 显微镜主体 约31公斤 约32公斤 约50公斤 约43公斤  约44公斤 
控制箱 约12公斤 


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